中國(guó)科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開(kāi)始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz),1985年研制成功,獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書(shū)以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。
從2010年開(kāi)始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)(國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng))資金支持,研發(fā)晶體管射頻電源,2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz),獲得第七屆國(guó)際發(fā)明展覽會(huì)銀獎(jiǎng)與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎(jiǎng)。
經(jīng)過(guò)二十多年的發(fā)展完善,產(chǎn)品的性能不斷提高,規(guī)格齊全,年銷(xiāo)售電子管與晶體管射頻源占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個(gè)部門(mén):產(chǎn)品研發(fā)部,產(chǎn)品生產(chǎn)部,產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。
產(chǎn)品研發(fā)部:有專(zhuān)業(yè)研發(fā)人員7人,其中碩士及以上比例100%,具有教授級(jí)職稱(chēng)2人,具有博士學(xué)歷3人,從清華大學(xué),中科院電工所,中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)引進(jìn)資深射頻技術(shù)與自動(dòng)控制專(zhuān)家3人,目前已建立起一支由高級(jí)研發(fā)顧問(wèn)**導(dǎo)的國(guó)際化研發(fā)人才團(tuán)隊(duì)。
產(chǎn)品生產(chǎn)部:有專(zhuān)業(yè)技術(shù)工程師17人,具有500平方專(zhuān)業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測(cè)試車(chē)間(可以進(jìn)行ESD,EMC等測(cè)試),年生產(chǎn)能力達(dá)3000臺(tái)套。
產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部:有專(zhuān)業(yè)推廣銷(xiāo)售人員4人,專(zhuān)業(yè)售后服務(wù)人員2人,其中碩士及以上比例100%。
目前開(kāi)發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動(dòng)匹配器。
射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究,集成電路工藝設(shè)備,太陽(yáng)能光伏工業(yè),LED制程,薄膜生長(zhǎng),感應(yīng)加熱,醫(yī)療**域的消毒與理療,等離子清洗等**域。
產(chǎn)品現(xiàn)已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導(dǎo)體設(shè)備廠等高技術(shù)公司,得到用戶(hù)的一致好評(píng)。
