小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型)，配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。  
我們用此設(shè)備得到擇**取向的ZnO薄膜  
技術(shù)參數(shù)  
輸入電源  
220VAC50/60Hz,單相  
800W(包括真空泵）  
等離子源  
一個(gè)100W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)  
配有一13.5MHz,100W的射頻電源（采用手動(dòng)匹配）  
可選配300W射頻電源（自動(dòng)匹配）  
注意：100W手動(dòng)調(diào)節(jié)的RF（射頻）電源價(jià)格較低，但是每一次對(duì)于不同的靶材，都需要手動(dòng)設(shè)置參數(shù)才能產(chǎn)生等離子體，比較耗費(fèi)時(shí)間。300W自動(dòng)匹配的RF（射頻）電源，價(jià)格較昂貴，但比較節(jié)約時(shí)間。  
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磁控濺射頭  
一個(gè)1英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接  
靶材尺寸:直徑為25.4mm,zui大厚度3mm  
一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上（手動(dòng)操作，見圖左3）  
濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）  
同時(shí)可選配2英寸濺射頭  
選配2英寸濺射頭靶材尺寸：直徑為50.8mm，zui大厚度6mm  
真空腔體  
真空腔體：160mmODx150mmIDx250mmH，采用高純石英制作  
密封法蘭:直徑為165mm.采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封  
一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體  
真空度：<1.0*10-2Torr（采用雙極旋片真空泵）  
<5*10-5torr（采渦旋分子泵）  
載樣臺(tái)  
載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱  
載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm（zui大可放置2英寸的基片）  
旋轉(zhuǎn)速度：1-20rpm  
樣品臺(tái)的zui高加熱溫度為700℃(短期使用，恒溫不超過1小時(shí))，長期使用溫度500℃  
控溫精度+/-10℃
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