HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國(guó) HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次。HVA 閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔**真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室（load-lock chamber），過(guò)渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超百萬(wàn)次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過(guò)1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
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連接形式：
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標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
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主體材料：
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鋁
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公稱通徑：
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DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
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漏率:
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2x10E-9 AtmCC/Sec
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壓力范圍:
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1x10E-9 Torr
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烘烤溫度:
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《150℃
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適用介質(zhì)：
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水、蒸汽、空氣
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密封形式：
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軟密封型
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驅(qū)動(dòng)方式：
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氣動(dòng)
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使用壽命:
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1000000 啟閉次數(shù)
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28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號(hào)及2D & 3D 圖
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DN
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Model
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mm
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inch
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Number
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J (Bolted Body)
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K (Clamped Body)
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32 x 220
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1.26 x 8.74
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28212-0109RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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32 x 332
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1.26 x 13.07
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28212-0113RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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46 x 236
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1.81 x 9.29
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28212-0209RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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50 x 336
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1.97 x 13.23
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28212-0213RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
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