起訂量: | 1 臺 |
價 格: | 面議 |
品牌: | QVI VIEW |
X,Y,Z 行程 (mm): |
300x300x25 |
產(chǎn)地: |
美國 |
保修期: |
1年 |
供貨總量: | 100 臺 |
發(fā)貨期限: | 自買家付款之日起 30 天內(nèi)發(fā)貨 |
所在地: | 廣東東莞市 |
有效期至: | 長期有效 |
最后更新: | 2024-12-11 16:42 |
關(guān)注人數(shù): | 1267 |
東莞市天測光學(xué)設(shè)備有限公司 | |
[誠信檔案] | |
聯(lián)系人 | 張人雷(先生) |
會員 | [當前離線] [加為商友][發(fā)送信件] |
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地區(qū) | 廣東 東莞市 |
地址 | 廣東省東莞市中堂鎮(zhèn)北王西路華迅科技園8棟102室 |
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù):
◆ 測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:300x300x25
◆ 視場內(nèi)測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸ju jiao范圍:25 mm
◆ 視場內(nèi)測量范圍:0.5um~400um;
◆ 視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ);
掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLineTM 300是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動化測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動平臺,可對200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進行全自動的精密視場測量。
n 200 x200mm精密X-Y平臺
n 基于視覺的自動ju jiao獲得某佳影像質(zhì)量
n 自動照明可編程光強
n 用于測量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強勁性能
n 完全可編程的序列,包括自動ju jiao和關(guān)鍵尺寸測量
n 電動的6目物鏡轉(zhuǎn)換器,軟件控制
n 可選的透射照明
技術(shù)規(guī)格:
- 測量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)
- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放
- 視場內(nèi)的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)
- 特征尺寸: 視場內(nèi)0.5μm - 400μm
- FOV測量重復(fù)性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)
<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)
- 照明: 石英鹵素燈, 反射光
自動照明
- 低噪音CCD VGA格式攝像頭
- 圖像處理60幀每秒
MicroLine 300的典型應(yīng)用包括:
l 晶圓
l 光罩
l MEMS
l 微型組件
測量類型:
n 關(guān)鍵尺寸:
線寬 Linewidth
節(jié)距 Pitch
間隙 Spacing
n Overlay
Multi-layer registration
Box in box
Circle
Edge roughness
Butting error
聯(lián)系時請說是在機電商情網(wǎng)看到我的,謝謝!