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程控?cái)U(kuò)散爐,廠家直銷,可按需求定制

起訂量: 面議
價(jià) 格: 面議
品牌: 福潤德
供貨總量: 面議
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地: 山東青島市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2024-09-02 08:54
關(guān)注人數(shù): 561
公司基本資料信息
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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聯(lián)系人 顏廷福(先生) 業(yè)務(wù)員     
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地區(qū)山東 青島市
地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
  • 品牌:
    福潤德
  • 發(fā)貨期限:
    自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
  • 所在地:
    山東青島市
擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工的硅
片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、 控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。

擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo):
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu)
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h
溫度斜變:可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率:5℃/min
送片裝置:手動推拉
氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
氣體控制:手動浮子流量計(jì)
控制方式:程控

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